炒股开户平台该制造方法在以多晶硅栅极为掩膜

金融界2025年8月7日消息，国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利，公开号CN120432381A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体器件及其制造方法，该制造方法在以多晶硅栅极为掩膜，刻蚀去除所述多晶硅栅极暴露出的栅氧化层之后，且在进行后续结构的制造工序之前，采用包含第一离子的掺杂离子进行倾斜离子注入，从而使第一离子至少被注入到所述栅氧化层边缘与所述衬底的交界处以及所述栅氧化层边缘和所述多晶硅栅极的交界处，由此在经历后续结构的制造工序的相应热处理工艺过程中，可以利用交界处的第一离子提高栅氧化层边缘的顶角和底角的再氧化速率，使栅氧化层边缘的顶角向上侵入多晶硅栅极、底角向下侵入衬底，进而使栅氧化层呈边缘厚且中间薄的形貌，由此保证栅氧化层等效厚度的大小且避免平面型栅氧化层厚度减薄所带来的不利问题。

天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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